第1年
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 2300
HVA 真空隔離閘閥 16000 系列
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 700
上海伯東 磁懸浮渦輪分子泵 HiPace
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 1800
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 80 Neo
HVA 真空層流閘閥 13000系列
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 300
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 1500
上海伯東 氫氦雙檢吸槍檢漏儀 ASM 3
- 材質(zhì)：
- 不銹鋼
因產(chǎn)品配置不同，價格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實際成交合同為準(zhǔn)。
HVA 長壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列
上海伯東美國 HVA 長壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列是專為最苛刻的真空環(huán)境而設(shè)計. HVA 真空閘閥 71000 系列由堅固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側(cè)密封的門上雙密封設(shè)計, 閥門內(nèi)部幾乎沒有移動部件, 最大限度減少粒子的生成. 免維護(hù)設(shè)計(不繡鋼波紋管與工藝過程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴(yán)酷的應(yīng)用.
HVA 長壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列特性:
易于系統(tǒng)集成, 幾乎滿足所有應(yīng)用
不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護(hù)
真空閘閥堅固的雙重密封設(shè)計和低粒子
使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數(shù)
高壓和機(jī)械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動或氣動控制
標(biāo)準(zhǔn)法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
真空閘閥最大烘烤溫度 250°C
全部美國設(shè)計, 制造, 組裝, 原裝進(jìn)口
HVA 長壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列參數(shù):
閥門材質(zhì): | |
- 閥門主體 | 304 不銹鋼 |
- 焊接波紋管軸封 | AM - 350 |
閥門密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡膠 |
真空: | |
- 壓力范圍 | 高真空 1x10-9 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差壓關(guān)閉 | 2 bar (任意位置) |
- 開啟前最大壓力 | ≤ 1 bar |
烘烤溫度（不含電磁閥）: | |
- 佛橡膠密封 | 150 °c, 可選配置最大 250 °c |
- 驅(qū)動方式 | 手動 60 °c, 氣動 60 °c |
- 氣體 | 80 psig (5.5 bar) |
- 電磁 | 4.0 Watts |
- 供電 | 120 VAC 50 /60 Hz |
- 可選電壓 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
- 位置指示器,最大 | 115 VAC |
使用壽命: > 250,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定) | |
公稱通徑: DN 50 - 200 mm | |
HVA 長壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列部件圖:
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