在美對(duì)華半導(dǎo)體技術(shù)封鎖持續(xù)升級(jí)的嚴(yán)峻形勢下，中國芯片產(chǎn)業(yè)正進(jìn)行一場關(guān)乎“毫厘精度”與“供應(yīng)鏈安全”的生死突圍。這場突圍戰(zhàn)的制勝關(guān)鍵，不僅在于光刻機(jī)等核心裝備，更在于無數(shù)精密制造環(huán)節(jié)的自主可控。其中，超高純環(huán)境下的壓力穩(wěn)定控制，正是半導(dǎo)體制造中一個(gè)極易被忽視卻至關(guān)重要的“隱形門檻”。

01半導(dǎo)體制造的“隱形門檻”：壓力控制的極致挑戰(zhàn)

作為現(xiàn)代科技產(chǎn)業(yè)的基石，半導(dǎo)體制造對(duì)工藝精度有著極致追求，從晶圓加工、光刻、刻蝕、薄膜沉積到封裝測試，每一個(gè)環(huán)節(jié)都必須在近乎苛刻的超高純環(huán)境中進(jìn)行。壓力參數(shù)的微小波動(dòng)，輕則導(dǎo)致薄膜不均勻、刻蝕速率偏差，重則直接造成整批晶圓報(bào)廢，成為良率提升的“隱形殺手”。尤其在前道工藝中，SiH?、PH?、AsH?、ClF?、HF等超純、劇毒、高腐蝕性特氣的精準(zhǔn)控制，對(duì)壓力傳感器提出了近乎極限的要求：

零污染保障：接觸氣體的部件必須極致純凈，杜絕任何金屬離子、顆粒或有機(jī)物析出污染工藝氣體。

卓越耐腐蝕性：能長期穩(wěn)定抵抗HF、ClF?等強(qiáng)腐蝕性特氣的侵蝕，避免變送器失效或發(fā)生致命泄漏。

毫秒級(jí)響應(yīng)能力：實(shí)時(shí)捕捉氣體流量的瞬時(shí)變化，保障刻蝕均勻性和沉積速率的一致性。

強(qiáng)抗電磁干擾：在Fab廠復(fù)雜的電磁環(huán)境中保持信號(hào)輸出穩(wěn)定可靠。

安全冗余設(shè)計(jì)：必須防范有毒/易燃?xì)怏w外泄風(fēng)險(xiǎn)，保障Fab廠千億級(jí)資產(chǎn)和人員生命安全。

長期服役穩(wěn)定性：最大限度減少校準(zhǔn)頻率和停機(jī)維護(hù)，確保持續(xù)可靠運(yùn)行，降低綜合成本。

傳統(tǒng)壓力傳感器常因材料純度不足、耐腐蝕性差、長期漂移等問題，成為良率提升的“絆腳石”和安全運(yùn)行的隱患，在封鎖背景下更凸顯其“卡脖子”屬性。

02自主創(chuàng)新破局：松諾盟S270系列攻克半導(dǎo)體壓力測量難題

面對(duì)半導(dǎo)體制造對(duì)壓力控制的嚴(yán)苛需求，松諾盟以自主研發(fā)的納米薄膜技術(shù)為核心，推出S270系列超高純壓力變送器。該產(chǎn)品突破傳統(tǒng)性能瓶頸，實(shí)現(xiàn)超高純度、精準(zhǔn)測量與長效穩(wěn)定的統(tǒng)一，為國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供自主可控的關(guān)鍵測量解決方案。

松諾盟八大核心技術(shù)優(yōu)勢

1、特殊合金材料

松諾盟S270系列超高純壓力變送器核心壓力芯體及主體結(jié)構(gòu)均采用強(qiáng)耐腐蝕性合金材料，結(jié)合內(nèi)部特殊處理技術(shù)，能有效抵抗大多數(shù)特氣的侵蝕，從根源上杜絕金屬離子污染風(fēng)險(xiǎn)。

2、卓越的表面潔凈度

光潔度達(dá) Ra ≤ 0.13um (10級(jí)以上)，有效減少顆粒析出與吸附，完美適配超高純度氣體要求，保障工藝氣體純凈度。

3、極低氦漏率

高強(qiáng)度密封焊接，氦氣漏率 ≤ 10-10Pa·m3/sec（He)，杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)，滿足嚴(yán)苛真空與超高純環(huán)境密封標(biāo)準(zhǔn)。

4、極致的穩(wěn)定性與耐用性

先進(jìn)的納米薄膜敏感材料技術(shù)與原子薄膜沉積技術(shù)，提供優(yōu)異的長期穩(wěn)定性。

主動(dòng)溫度補(bǔ)償技術(shù)，確保在寬溫范圍內(nèi)(-40℃至高達(dá)250℃)擁有極小的溫度漂移，適應(yīng)半導(dǎo)體設(shè)備高溫工況。

百萬次壓力循環(huán)壽命驗(yàn)證，減少校準(zhǔn)維護(hù)，提升設(shè)備綜合利用率

特殊的鋼基薄膜技術(shù)，量程范圍寬廣 (0~0.1~...~20MPa)，應(yīng)用靈活。

5、卓越的EMC穩(wěn)定性與多項(xiàng)認(rèn)證 (CE, RoHS)，確保設(shè)備安全可靠運(yùn)行。

6、堅(jiān)固可靠，適應(yīng)嚴(yán)苛環(huán)境：

防護(hù)等級(jí) IP67，無懼戶外及工業(yè)現(xiàn)場粉塵、水汽侵?jǐn)_。

緊湊型設(shè)計(jì)，輕松應(yīng)對(duì)設(shè)備內(nèi)部有限空間安裝。

7、精準(zhǔn)測量，穩(wěn)定護(hù)航：

搭載自主研制的納米薄膜壓力芯體，提供 ±0.2%FS, ±0.5%FS, ±1.0%FS 多種精度等級(jí)選擇，滿足不同應(yīng)用場景需求。

具備清零功能，便于現(xiàn)場校準(zhǔn)與調(diào)試。

產(chǎn)品制造全程在潔凈車間完成，確保產(chǎn)品的高安全性、高質(zhì)量和高交付標(biāo)準(zhǔn)。

8、設(shè)備國產(chǎn)化替代：兼容國際主流半導(dǎo)體設(shè)備接口協(xié)議，助力供應(yīng)鏈自主可控；

03為什么選擇松諾盟？

“不僅是壓力變送器，更是良率與安全的**雙重保險(xiǎn)”——

? 材料純度：超SEMI F20標(biāo)準(zhǔn)，純度對(duì)標(biāo)航天級(jí)

? 技術(shù)指標(biāo)：氦漏率、溫度范圍、精度全面超越國際競品

? 國產(chǎn)基因：深度理解本土制造痛點(diǎn)，定制化開發(fā)響應(yīng)速度大幅提升04行動(dòng)召喚：讓國產(chǎn)傳感器守護(hù)中國“芯”命脈！

7月30日 13:30，松諾盟首席科學(xué)家雷衛(wèi)武邀您共赴智能制造大會(huì)半導(dǎo)體專場！

重磅發(fā)布：《納米薄膜壓力傳感器的技術(shù)優(yōu)勢及在半導(dǎo)體領(lǐng)域中的應(yīng)用》